專為半導體和相關產(chǎn)業(yè)提供制程控制與成品率管理解決方案的全球領先供應商KLA-Tencor公司推出了其最新LED晶圓檢測機臺WI 2280。WI 2280的推出使得LED制造商能夠在當前的基礎上，繼續(xù)降低檢測成本，同時檢測的靈活性與效率也得到了進一步的提升。

　　據(jù)悉，此次KLA-Tencor公司推出的新檢測機臺是作為下一代LED印刷(LED patterned)晶片檢查儀器，該機臺完全適用于LED晶圓的缺陷檢測與LED應用程序進行2D度量(2D metrology)。在另一方面，WI 2280相對于上一代機臺而言，其檢測能力也相應提高，適用于現(xiàn)如今半導體行業(yè)內(nèi)2英寸至8英寸的晶片檢測。

　　同時，WI 2280還會對晶圓缺陷進行自動分類，并為操作人員提供最佳的解決途徑。這就讓LED制造商能在最短的時間內(nèi)，最大化得提升自身產(chǎn)品的良率及生產(chǎn)效率，并且WI 2280不間斷地對工藝過程進行監(jiān)控以確保安全運營。

　　KLA-Tencor增長和新興市場部門(GEM)集團副總裁Jeff Donnelly對此表示，當前的LED企業(yè)越來越需要檢測技術的提高來幫助他們實現(xiàn)產(chǎn)能的提升，同時檢測的準確度也是十分重要的，這對于提高產(chǎn)品的良率至關重要。

　　Donnelly進一步指出，ICOS WI 2280的發(fā)布對迎合了LED市場的現(xiàn)實需求，最終會幫助LED廠商提高每瓦的流明輸出和產(chǎn)品性能上的飛躍。我們也將繼續(xù)努力，不斷提升我們的ICOS產(chǎn)品線的水平，以滿足LED市場的未來需求。

　　據(jù)介紹，WI 2280搭載了靈活先進的光學模式與專業(yè)的圖像處理系統(tǒng)，其晶圓缺陷的高捕捉率并針對不同的工藝背景有自己的對應模式。另外一個值得注意的是，新機臺能對不同的缺陷作出判斷分析，并為工程師提供最佳解決方案。

　　另外，WI 2280還具有從前端工藝制造到后端檢測上的連續(xù)性，并且提供一個單一的缺陷分析平臺。KLA-Tencor公司相關人員介紹，WI 2280在在線與離線狀態(tài)下都能簡單得對重新分類進行操作。

　　除了LED應用領域之外，半導體電子元器件廠商和功率設備市場也能利用ICOS WI 2280作質(zhì)量檢測，對前端印刷圖案晶片作檢查改進或進行工藝控制。最后，ICOS WI 2280能與KLA-Tencor的Candela LED無印刷晶圓檢測系統(tǒng)聯(lián)合配套使用。