2011年6月11日，“亞洲LED照明高峰論壇 -- 外延芯片技術(shù)與工藝和外延設(shè)備和材料”專題分會在廣州琶洲展館B區(qū)8號會議廳南廳舉行。來自北方微電子LED事業(yè)部的副總經(jīng)理劉利堅發(fā)表了《大規(guī)模LED芯片量產(chǎn)工藝設(shè)備的發(fā)展與挑戰(zhàn)》的專題演講。

　　首先劉經(jīng)理簡單介紹了北方微電子LED設(shè)備產(chǎn)品的概況，其中ICP系列產(chǎn)品已經(jīng)成為了眾多廠家的首選刻蝕設(shè)備，更加強調(diào)了ELEDETM330設(shè)備的領(lǐng)先優(yōu)勢——大產(chǎn)能設(shè)計與優(yōu)異的工藝性能。

　　接著，劉經(jīng)理重點講解了北方微電子一個非常重要的增值部分——工藝控制系統(tǒng)APC電子軟件。當(dāng)前，在LED量產(chǎn)過程中存在的問題之一就是最終產(chǎn)量出現(xiàn)不合格品。而諸多廠家對此的解決方法就是對各個工序和重點設(shè)備進行費時費力的逐一排查。為達到控制最終產(chǎn)品質(zhì)量能滿足要求這一目的，北方微電子開發(fā)了APC軟件。

　　APC軟件主要包括三大功能模塊，并據(jù)此建立自動預(yù)警機制：

　　1、 數(shù)據(jù)管理。對單臺/多臺設(shè)備的生產(chǎn)過程進行數(shù)據(jù)實時采集、顯示、存儲、導(dǎo)入導(dǎo)出和歷史數(shù)據(jù)查詢的功能;

　　2、 統(tǒng)計控制。統(tǒng)計過程監(jiān)控(當(dāng)值與數(shù)據(jù)的共同監(jiān)測，更利于發(fā)現(xiàn)異常、及時預(yù)警)，離線質(zhì)量分析，匯總統(tǒng)計報表(使數(shù)據(jù)可視化);

　　3、 故障診斷?？刂颇Ｐ凸芾?根據(jù)不同的標(biāo)準(zhǔn)值做出模型進行變量分析)，在線故障分析，離線故障分析，故障信息報表。

　　APC軟件的其他特點還包括：可據(jù)不同支持、設(shè)備設(shè)置靈活的系統(tǒng)架構(gòu);可定制對外數(shù)據(jù)接口;可內(nèi)嵌進生產(chǎn)設(shè)備，如設(shè)備ELEDETM330。